Nghiên cứu chế tạo buồng vi cộng hưởng Fabry - Perot cấu trúc tinh thể quang tử một chiều và ứng dụng trong cảm biến quang

TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học Huế Tập 3, Số 1 (2015) 
55 
NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO BUỒNG VI CỘNG HƯỞNG FABRY - PEROT 
CẤU TRÚC TINH THỂ QUANG TỬ MỘT CHIỀU 
VÀ ỨNG DỤNG TRONG CẢM BIẾN QUANG 
Hoàng Lê Hà*, Nguyễn Văn Ân 
Khoa Điện tử - Viễn thông, Trường Đại học Khoa học Huế 
*Email:hoangleha87@gmail.com 
TÓM TẮT 
Nội dung chính của bài báo đề cập đến tinh thể quang tử và ứng dụng của buồng vi cộng 
hưởng Fabry- Perot có cấu trúc tinh thể quang tử một chiều trong cảm biến quang phân 
biệt chất lỏng. Bài báo này này trình bày tổng quan về tinh thể quang tử, phương pháp mô 
phỏng FDTD cũng như các kết quả thực nghiệm về chế tạo và đo đạc phổ đặc trưng của 
buồng vi cộng hưởng Fabry- Perot. Bằng cách quan sát sự dịch bước sóng cộng hưởng 
trong phổ phản xạ khi nhúng vào các chất lỏng có chiết suất khác nhau, chúng ta có thể 
phân biệt được các loại chất lỏng. Đây là các kết quả bước đầu cho việc xây dựng cảm 
biến quang phân biệt chất lỏng khác nhau sau này. 
Từ khóa: Fabry- Perot, FDTD, tinh thể quang tử. 
1. MỞ ĐẦU 
Hiện nay cảm biến quang là một trong những ứng dụng khá quan trọng trong kiểm soát 
và bảo vệ môi trường[4], thí dụ như chúng được sử dụng để xác định được các loại hóa chất và 
nồng độ của chúng trong môi trường thông qua sự thay đổi nhỏ của chiết suất. Các cảm biến 
quang đang trên đà phát triển và thể hiện những ưu điểm vượt trội như kích thước nhỏ, khối 
lượng nhẹ, độ nhạy cao, ít bị ảnh hưởng bởi nhiễu xạ từ trường và có độ bền cao trong môi 
trường khắc nghiệt. Do đó nhiều cảm biến quang có khả năng thay thế các cảm biến truyền 
thống trong các ứng dụng đo các đại lượng vật lý, hóa học hay sinh học. 
Tinh thể quang tử là một loại vật liệu mới có cấu trúc không gian là sự tuần hoàn của 
các vật liệu có hằng số điện môi khác nhau. Sự biến đổi tuần hoàn của hằng số điện môi làm 
xuất hiện vùng cấm quang (photonic band gap - PBG) trong cấu trúc vùng (được hiểu là mối 
liên hệ giữa tần số và số sóng) của tinh thể quang tử[6].Trong đó, tinh thể quang tử một chiều là 
cấu trúc mà sự tuần hoàn của hằng số điện môi chỉ hướng theo một chiều xác định trong khi hai 
chiều c n lại là không đổi. Buồng vi cộng hưởng a ry- rot ử ụng cấu trúc tinh thể quang 
tử một chiều có bước sóng cộng hưởng rất nhạy với những thay đổi của độ dày và chiết suất của 
các lớp xốp trong màng. Do đó, thông qua ự dịch phổ của buồng vi cộng hưởng mà ta có thể 
xác định sự thay đổi của chiết suất nếu cho rằng chiều dày là cố định. Dựa vào đặc tính này 
Nghiên cứu chế tạo buồng vi cộng hưởng Fabry - Perot cấu trúc tinh thể quang tử một chiều  
56 
chúng ta có thể sử dụng buồng vi cộng hưởng làm cảm biến cho các chất sinh hóa trong môi 
trường lỏng hoặc khí.. 
2. TỔNG QUAN VỀ BUỒNG VI CỘNG HƯỞNG FABRY- PEROT CẤU TRÚC 
TINH THỂ QUANG TỬ MỘT CHIỀU VÀ QUY TRÌNH CHẾ TẠO 
2.1 Đặc trưng buồng vi cộng hưởng Fabry- Perot. 
Buồng vi cộng hưởng ử ụng cấu trúc tinh thể quang tử một chiều gồm 2 tấm gương 
phản xạ Bragg (DBR) nằm đối xứng với nhau qua lớp không gian. Cấu trúc của buồng vi cộng 
hưởng được trình bày trên hình vẽ bao gồm DBR1, DBR2 là các gương Bragg và lớp không 
gian. Cả hai thành phần gương Bragg và lớp không gian đều ảnh hưởng mạnh đến đặc tính của 
buồng cộng hưởng và ưới đây chúng ta ẽ lần lượt nghiên cứu chi tiết các thành phần này 
[1,6]. 
Hình 1. Minh hoạ cấu tạo của buồng vi cộng hưởng có cấu trúc tinh thể quang tử một chiều. Chiết suất 
của lớp không gian là ns và bề dày của lớp này là ds. Lớp không gian được đưa vào giữa hai DBR đối 
xứng với chiết suất của các lớp là nH, nL và bề dày dH, dL 
Tương tự tính chất tuần hoàn của trường thế trong đơn tinh thể chất rắn làm nảy sinh ra 
vùng cấm năng lượng, tính chất tuần hoàn của hàm điện môi trong tinh thể quang tử làm xuất 
hiện vùng cấm quang mà thể hiện trên phổ phản xạ là một dải ước sóng với độ phản xạ rất cao 
như trên hình 2 [6]. Lớp không gian của uồng vi cộng hưởng được x m như là một sai hỏng 
của tính tuần hoàn của hàm điện môi trong tinh thể quang tử. Điều này tương ứng với trạng thái 
cho phép trong vùng cấm quang mà thể hiện trên phổ phản xạ là một khe hẹp với độ phản xạ đột 
ngột giảm xuống rất thấp thậm chí xấp xỉ bằng không. Bước sóng ứng với trạng thái cho phép 
này được gọi là ước sóng cộng hưởng CH . Bước sóng này có quan hệ với bề dày quang học 
lớp không gian và bề dày quang học DBR như au. 
2
CH
S Sn d

 hoặc S S CHn d  (1) 
4
CH
L L H Hn d n d

 (2) 
TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học Huế Tập 3, Số 1 (2015) 
57 
0
20
40
60
80
100
450 480 510 540 570 600 630H
ệ
 s
ố
 p
h
ả
n
 x
ạ
 (
%
)
Bước sóng (nm)
Hình 2. Minh họa phổ phản xạ buồng vi cộng hưởng có hệ số phản xạ xấp xỉ bằng không ứng bước sóng 
cộng hưởng CH = 508,31 nm. 
Bước sóng cộng hưởng rất nhạy với những thay đổi của bề dày vật lý và chiết suất của 
lớp không gian. Nói cách khác, bề dày quang học lớp không gian sẽ quyết định đến ước sóng 
cộng hưởng của buồng vi cộng hưởng [4]. Cụ thể ước sóng cộng hưởng sẽ thay đổi khi buồng 
vi cộng hưởng được nhúng vào các chất lỏng có chiết suất khác nhau. Thông qua sự dịch phổ, 
chúng ta có thể xác định chiết suất chất lỏng đã nhúng vào. 
2.2 Quy trình chế tạo buồng vi cộng hưởng Fabry- Perot. 
Hiện nay phương pháp chế tạo tinh thể quang tử một chiều dựa trên màng Silic xốp đa 
lớp th o quy trình ăn m n điện hóa đang rất được quan tâm do có thể điều khiển tương đối 
chính xác chiết suất và độ dày các lớp. Từ đó tạo ra buồng vi cộng hưởng như ý muốn bằng 
cách tạo ra các khuyết tật (sai hỏng) trong tinh thể quang tử 1D, tạo tiền đề cho phát triển laser 
hay cảm biến hóa inh Silic xốp có thể được tạo ra bằng rất nhiều phương pháp chế tạo. 
 hương pháp ăn m n điện hóa là một trong những phương pháp đơn giản để tạo ra Silic xốp. Cụ 
thể, việc điện hóa phiến Silic trong các dung dịch có chứa HF sẽ tạo ra Silic xốp với các đặc 
tính như mong muốn [3,4,5]. 
Hình 3. Minh họa quá trình ăn m n Silic th o phương pháp điện hóa 
Phương trình phản ứng hóa học tổng quát : 
Si + 6 HF H2SiF6 + H2 +2H
+
 + 2e
-
 (3) 
Nghiên cứu chế tạo buồng vi cộng hưởng Fabry - Perot cấu trúc tinh thể quang tử một chiều  
58 
Buồng vi cộng hưởng được tạo ra bằng cách ăn m n để tạo ra một gương phản xạ Bragg 
(DBR) ở phía trên với bề dày quang học của mỗi lớp là λ/4, các lớp có chiết suất cao và thấp 
xen kẽ nhau, au đó ăn m n một lớp không gian với bề dày quang học bằng λ/2 với chiết suất 
bằng chiết suất của lớp có độ xốp cao (tương ứng với chiết suất thấp) và cuối cùng ăn m n để 
tạo ra một DBR ở phía ưới với các điều kiện giống như DBR đã chế tạo ở bên trên. Mỗi chu kỳ 
bao gồm một lớp có độ xốp thấp và một lớp có độ xốp cao, o đó một nửa chu kỳ có nghĩa là 
chế tạo một lớp có độ xốp thấp [5]. Để tạo ra các lớp có chiết suất thay đổi tuần hoàn nằm xen 
kẽ nhau thì mật độ ng điện cũng được thay đổi như trong bảng au đây, mỗi một mật độ dòng 
điện tương ứng với một độ xốp khác nhau. Ngoài ra, thời gian ăn m n ẽ quyết định bề dày của 
mỗi lớp[1,2]. 
Bảng 1. Các điều kiện ăn m n để chế tạo buồng vi cộng hưởng [5] 
Mô tả Mật độ ng (mA/cm2) Thời gian (s) 
Gương trên 
(Chu kỳ N+0,5) 
15 6,35 
50 3,63 
Lớp không gian 50 7,26 
Gương ưới (Chu kỳ N+1) 15 6,35 
50 3,63 
Lý thuyết chỉ ra rằng ước sóng cộng hưởng của uồng vi cộng hưởng Fabry- Perot phụ 
thuộc chủ yếu vào bề dày lớp vật liệu cũng như chiết suất lớp sai hỏng. Khi nhúng cảm biến vào 
trong các chất lỏng có chiết suất khác nhau thì các phần tử chất lỏng sẽ lấp đầy các lỗ xốp trong 
buồng vi cộng hưởng. Một cách gần đúng ta giả sử bề dày vật liệu các lớp không thay đổi do tác 
động này. Tuy nhiên chiết suất của các lớp cấu thành nên buồng vi cộng hưởng lại thay đổi so 
với an đầu. Kết quả là ước sóng cộng hưởng sẽ thay đổi mà cụ thể ước sóng này dịch về 
phía ước sóng dài. 
Bước sóng cộng hưởng khi nhúng vào các môi trường chiết suất này này phụ thuộc vào 
chiết suất và bề dày lớp sai hỏng theo quan hệ 
2
CH
S Sn d

 trong đó dS được x m như không 
đổi. Sự thay đổi chiết suất nS của các lớp xốp phụ thuộc vào chiết suất chất lỏng nhúng vào và 
độ xốp của các lớp. Giá trị chiết suất này được xác định từ phương trình hiệu dụng Bruggeman 
th o phương pháp như au. 
Ở đây Silic xốp được xem là một hỗn hợp của Silic và không khí, chiết suất của Silic 
xốp dự đoán ẽ thấp hơn o với chiết suất của khối Silic. Việc xác định chính xác chiết suất 
trung bình của Silic và không khí dựa vào trọng lượng riêng không phải lúc nào cũng chính xác. 
Do việc trộn lẫn hỗn hợp gồm 2 pha ở một thang chiều dài nhỏ hơn nhiều so với ước sóng 
trong vùng khả kiến và hồng ngoại nên mô hình môi trường hiệu dụng được sử dụng để xác 
định chiết suất của Silic xốp. Điển hình là mô hình hiệu dụng được đưa ra ởi Bruggeman 
Mô hình Brugg man được đặc trưng ởi phương trình: 
TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học Huế Tập 3, Số 1 (2015) 
59 
2 2 2 2
2 2 2 2
(1 ) 0
2 2
Si PSi void PSi
Si PSi void PSi
n n n n
P P
n n n n
 (4) 
Trong đó: là độ xốp- tỷ phần khối lượng Silic xốp bị hòa tan trong quá trình điện hóa 
so với khối lượng Silic an đầu, nSi = 3,42 là hằng số điện môi của Silic, nPSi là hằng số điện môi 
hiệu dụng của Silic xốp, và nvoid =1là hằng số điện môi của các chỗ trống. 
Quá trình tính toán mô phỏng sự thay đổi phổ phản xạ tuân theo các ước như au[4]. 
- Ta xác định được chiết suất của các lớp xốp dựa vào ước sóng cộng hưởng thực 
nghiệm an đầu khi chưa nhúng vào chất lỏng và bề dày các lớp xốp từ ảnh SEM (Scanning 
Electron Microscopy) theo quan hệ 
2
CH
S Sn d

 và 
4
CH
L L H Hn d n d

 .. 
- Xác định độ xốp PH và PL lần lượt của các lớp độ xốp cao và thấp theo các giá trị hằng 
số điện môi của lớp xốp an đầu khi cảm biến được đặt trong không khí dựa vào phương trình 
Brugeman. Trong tính toán mô phỏng chúng tôi xác định trước khi nhúng vào các chất lỏng thì 
PH= 0,34 và PL=0,62. 
- Xác định giá trị hằng số điện môi của các lớp xốp khi các lỗ xốp (chỗ trống) được lấp 
đầy bởi các chất lỏng có chiết suất điện môi biết trước cũng ựa th o phương trình Brugg man 
với các giá trị độ xốp đã được xác định ở trên. 
- Xác định ước sóng cộng hưởng khi nhúng cảm biến vào chất lỏng theo phổ phản xạ 
mô phỏng. 
3. Kết quả chế tạo và đo đạc trong thực tế 
Buồng vi cộng hưởng Fabry-Perot chúng tôi thiết kế có ước sóng cộng 
hưởng
508,31CH ứng với các thông số đặc trưng như au: 
- Chu kỳ gương DBR phía trên: N= 4,5. 
- Chu kỳ gương DBR phía ưới (lớp át đế Silic): N= 5. 
- Bề dày lớp chiết suất cao (độ xốp thấp): dH = 49,45 nm 
- Bề dày lớp chiết suất thấp (độ xốp cao): dL = 71,79 nm 
- Bề dày lớp không gian sai hỏng: dS= 143,59 nm 
- Chiết suất lớp có độ xốp thấp: nH= 2,57 
- Chiết suất lớp có độ xốp cao: nL= 1,77 
- Chiết suất lớp không gian sai hỏng: nS=nL =1.77 
Sau đây là các kết quả về cấu trúc buồng vi cộng hưởng được chụp bằng phương pháp 
cộng hưởng từ. Mặt cắt ngang của các gương Bragg có số chu kỳ N tương ứng là 4,5 và 5. Mỗi 
một chu kỳ bao gồm một lớp có chiết suất cao và một lớp có chiết suất thấp. Độ tương phản 
Nghiên cứu chế tạo buồng vi cộng hưởng Fabry - Perot cấu trúc tinh thể quang tử một chiều  
60 
(sáng và tối hơn) của các lớp có chiết suất khác nhau thể hiện rõ trên ảnh đó có thể sử dụng ảnh 
để xác định số lớp và đánh giá chiều dày của một chu kỳ (gồm 2 lớp liền kề) cũng như chiều 
dày toàn bộ màng mỏng. Ảnh FE- SEM này cũng là một bằng chứng chứng tỏ chúng tôi đã chế 
tạo các gương Bragg gồm các lớp Silic xốp có chiết suất khác nhau được sắp xếp tuần hoàn theo 
một chiều. 
Hình 4. Ảnh FE- SEM của một buồng vi cộng hưởng Fabry- Perot [6] 
a) b) 
Hình 5. a) Ảnh chụp FE- SEM biểu diễn trật tự các lỗ xốp trong cấu trúc 
b) Ảnh FE- SEM của hai lớp liền kề có mật độ dòng lần lượt 15 và 50 mA/cm2 
Tiến hành đo phổ phản xạ của buồng vi cộng hưởng khi nhúng vào các môi trường chất 
lỏng khác nhau bằng máy phân tích phổ Cary- 5000 chúng tôi có kết quả dịch ước sóng thể 
hiện như ảng 2. Chúng tôi có nhận xét rằng khi thay đổi môi trường xung quanh bằng các chất 
lỏng có chiết suất tăng ần thì ước sóng cộng hưởng cũng tăng th o. Trong trường hợp chất 
lỏng được nhúng vào là Ethanol và Ax ton thì độ dịch ước sóng gần như là trùng nhau. 
Nguyên nhân là chiết suất của hai chất lỏng này có giá trị gần bằng nhau nên độ dịch phổ sẽ gần 
như tương đương nhau. Nếu sử dụng cảm biến này để phân biệt giữa Ethanol và Axeton thì sẽ 
không phù hợp. Do đó đối với các chất lỏng có chiết suất gần như nhau thì cách phân iệt bằng 
cách nhúng trực tiếp cảm biến vào chất lỏng là không hiệu quả. 
Bảng 2. Bảng đối chiếu ước sóng cộng hưởng theo chiết suất môi trường 
Dung ịch hữu cơ Chiết uất Bước óng 
cộng hưởng (nm) 
Không khí 1 508.31 
Methanol (99.5%) 1.328 573.62 
Ethanol (99.7%) 1.3614 580.06 
Axeton (99.5%) 1.3644 580.91 
TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học Huế Tập 3, Số 1 (2015) 
61 
Isopropanol (99.7%) 1.3776 583.17 
Methylene Chloride(CH2Cl2) 1.4242 592.01 
Toluen (99.5%) 1.494 605.11 
 So với kết quả tính toán mô phỏng th o phương pháp ai phân hữu hạn trên miền thời 
gian (FDTD) thì chúng tôi có nhận xét rằng ước sóng cộng hưởng trong cả hai kết quả này là 
tương đối trùng hợp. 
Hình 6. So sánh giữa kết quả thực nghiệm và tính toán mô phỏng phổ phản xạ cảm biến trong không khí 
Hình 7. So sánh giữa kết quả thực nghiệm và tính toán mô phỏng quan hệ giữa độ dịch ước sóng 
và độ thay đổi chiết suất môi trường 
Từ kết quả thu được về đo ước sóng cộng hưởng, chúng tôi tiến hành vẽ đồ thị biểu 
diễn quan hệ giữa độ dịch ước óng và độ thay đổi chiết suất môi trường trong thực tế trên cơ 
sở đối chiếu kết quả lý thuyế. Hình 7 là quan hệ giữa độ dịch ước sóng cộng hưởng và độ thay 
đổi chiết suất môi trường trong so sánh giữa đo đạc thực nghiệm và tính toán mô phỏng. Ta có 
Nghiên cứu chế tạo buồng vi cộng hưởng Fabry - Perot cấu trúc tinh thể quang tử một chiều  
62 
nhận xét giữa kết quả thực nghiệm và tính toán mô phỏng có một độ sai lệch nhất định. Tuy 
nhiên cả hai kết quả đều thể hiện mối quan hệ tuyến tính giữa độ dịch ước óng và độ thay đổi 
chiết suất. 
Qua đồ thị hình vẽ ta có thể quan sát mức thay đổi của ước sóng cộng hưởng phụ 
thuộc vào sự thay đổi chiết suất khi ta cho cảm biến nhúng trong các chất lỏng khác nhau như 
Methanol, Ethanol, Axeton, Isopropanol, Methylen Chloride và Toluen. Từ đó ta rút ra kết luận 
đối với chất lỏng có chiết suất khác nhau khi sử dụng cảm biến quang trên cơ ở buồng vi cộng 
hưởng bằng Silic đa lớp xốp thì cho ta những độ dịch ước sóng cộng hưởng khác nhau, từ đó ta 
có thể xác định được phẩm chất của chúng. 
 Ngoài ra chúng tôi xác định độ nhạy của cảm biến trong các trường hợp chất lỏng khác 
nhau và qua đó xác định được độ nhạy của cảm biến (Δλ/Δn) trung ình là 198.06 nm/RIU. Độ 
nhạy này có nghĩa là khi máy Cary-5000 phát hiện sự thay đổi ước sóng 0.1nm thì sự thay đổi 
chiết suất tối thiểu trong lớp Silic xốp là 5,04.10-4. 
 Các kết quả thực nghiệm đo đạc cũng chỉ ra rằng tại ước sóng cộng hưởng 508.31 nm 
thì chỉ số phẩm chất của cảm biến là 62,75. Ta có nhận xét là cảm biến sử dụng có số chu kỳ 
gương DBR là 4,5/5 nên chỉ số phẩm chất chỉ ở mức trung bình. Trong quá trình chế tạo chúng 
ta có thể tăng giá trị chỉ số phẩm chất khi tăng ố chu kỳ gương DBR hoặc độ tương phản chiết 
suất. Tuy nhiên nếu gương DBR quá ày thì nó ẽ ngăn cản sự thẩm thấu của các phân tử chất 
lỏng vào buồng vi cộng hưởng gây khó khăn cho việc xác định thành phần chất lỏng. 
4. KẾT LUẬN 
Trong ài áo này chúng tôi đã trình ày quy trình chế tạo buồng vi cộng hưởng có cấu 
trúc màng đa lớp bằng slilic xốp bằng phương pháp ăn m n điện hóa có chiết suất và bề dày vật 
lý tùy ý với độ đồng đều cao có cấu trúc vi mô với chỉ số phẩm chất tại ước sóng cộng hưởng 
λCH = 508.31 nm là 62,75. 
Ngoài ra chúng tôi đã thử nghiệm thành công cảm biến sử dụng buồng vi cộng hưởng 
có cấu trúc màng đa lớp bằng Silic xốp với các dung dịch hữu cơ khác nhau như M tanol, 
Ethanol, I opropanol Kết quả này là khá phù hợp với các tính toán mô phỏng bằng phương 
pháp FDTD. 
Từ những kết quả thu được có thể kết luận rằng: đối với buồng vi cộng hưởng dựa trên 
màng Silic xốp đa lớp khi được ngâm trong môi trường có chiết suất cao hơn không khí thì chiết 
suất của các lớp điện môi cũng tăng lên. Kết quả là phổ phản xạ cảm biến dịch chuyển về phía 
 ước sóng dài. 
TẠP CHÍ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ, Trường Đại học Khoa học Huế Tập 3, Số 1 (2015) 
63 
5. LỜI CÁM ƠN 
Các kết quả chế tạo và đo đạc được thực hiện tại phòng thí nghiệm trọng điểm quốc gia 
và linh kiện và vật liệu điện tử thuộc viện Khoa học vật liệu- Viện Khoa học và Công nghệ Việt 
Nam. Các kết quả này hoàn thành được sự hỗ trợ về kinh phí của đề tài cấp Viện Hàn lâm Khoa 
học và Công nghệ Việt Nam (VAST) mã số VAST03.06/13-14. 
TÀI LIỆU THAM KHẢO 
[1]. Do Thuy Chi, Bui Huy, Nguyen Thuy Van and Pham Van Hoi, (2011), "Investigation of 1D 
Photonic Crystal Based on Nano-porous Silicon Multilayer for Optical Filtering", Communications 
in Physics 21, pp. 89-96. 
[2] Do Thuy Chi, Bui Huy, Nguyen Thuy Van, Nguyen The Anh and Pham Van Hoi, (2011), "A 
microcavity based on a porous Silicon multilayer", Adv. Nat. Sci.: Nanosci. Nanotechnol. 2, 
035001. 
[3]. Pham Van Hoi, Do Thuy Chi, Bui Huy and Nguyen The Anh, (2011), Silicon–Rich Silicon Oxide 
Thin Films Fabricated by Electro- Ch mical M tho , Ch.2, Book “Opto l ctronic - Materials and 
Techniques" ISBN 978-953-307-276-0 Edited by Padmanabhan Predeep, Publisher InTech 24. 
[4]. Pham Van Hoi, Bui Huy, Hoang Le Ha, Nguyen Thuy Van, Nguyen The Anh, Pham Thanh Son and 
Ngo Quang Minh, “Nano- porous silicon microcavity sensors for determination of organic fuel 
mixtur ”, Journal of th Optical Soci ty of Kor a 17, pp. 423-427. 
[5]. ]Bui Huy, Pham Van Hoi, Phan Hong Khoi, Nguyen Thuy Van and Do Thuy Chi, (2011), "Porous 
Silicon as a promising material for photonics", Int. J. Nanotechnol 8, pp. 360-370. 
[6]. John D. Joannopoulo , St v n G. John on, Jo hua N. Winn an Ro rt D. M a , (2008), “Photonic 
cry tal : mol ing th flow of light ( con ition)”, rinc ton Univ r ity r , N w J r y. 
Nghiên cứu chế tạo buồng vi cộng hưởng Fabry - Perot cấu trúc tinh thể quang tử một chiều  
64 
INVESTIGATION AND FABRICATION OF FABRY- PEROT MICROCAVITY BASED 
ON PHOTONIC CRYSTAL STRUCTURE FOR OPTICAL SENSOR APPLICATION 
Hoang Le Ha*, Nguyen Van An
Faculty of Electronics and Telecommunications, Hue University of Sciences 
Email:hoangleha87@gmail.com 
ABSTRACT 
The main content of this paper is to focus on representing the preliminary results of 
fabrication and characteristics of Fabry- Perot microcavity based on nano- porous silicon 
structure. The microcavity fabrication is an electro- chemical etching method on the silicon 
substrates, which could exactly control the porosity and thickness of the porous silicon 
layers. The microcavity characteristics can be predicted by simulation calculations using 
the Finite Difference Time Domain (FDTD) and then obtained by experimental 
measurements of the different liquids with known refractive index. In this article, we 
evaluated the microcavity chracteristics with liquids such as Methano, Ethanol.to 
determine the relation between resonant wavelength shift and refractive index change. 
The simulation and experimental results indicate that resonant wavelength is shifted by 
refractive index change of the nano- porous layers due to the interaction with liquid 
ambient. This relation is fundamental result for bio- chemical sensor fabrication in the 
future. 
Key words: Fabry- Perot, FDTD, photonic crystal.